一、項(xiàng)目背景
在高端芯片制造與醫(yī)療精密部件搬運(yùn)場(chǎng)景中，對(duì)運(yùn)輸環(huán)境的潔凈度、運(yùn)動(dòng)控制的精度要求嚴(yán)苛。傳統(tǒng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（鏈條、皮帶、齒輪等 ）運(yùn)行易產(chǎn)生粉塵，污染芯片或醫(yī)療部件，且難以滿足微米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制需求。磁懸浮多動(dòng)子真空運(yùn)輸線憑借無接觸傳動(dòng)、低污染特性，成為理想方案，而高精度位置檢測(cè)是其穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。
二、應(yīng)用方案
（一）設(shè)備構(gòu)成
磁懸浮多動(dòng)子真空運(yùn)輸線包含磁懸浮軌道、多動(dòng)子承載平臺(tái)（如圖所示，多個(gè)承載平臺(tái)并行布置 ）、控制系統(tǒng)，以及核心位置檢測(cè)部件 —— 阿童木讀數(shù)頭 MH0 系列，每個(gè)動(dòng)子對(duì)應(yīng)配置讀數(shù)頭，實(shí)現(xiàn)位置信號(hào)獨(dú)立采集。
（二）讀數(shù)頭功能實(shí)現(xiàn)
阿童木讀數(shù)頭 MH0 系列安裝于多動(dòng)子側(cè)面位置，利用電磁感應(yīng)原理，實(shí)時(shí)捕捉動(dòng)子在真空運(yùn)輸線的位置信息。其抗干擾電路設(shè)計(jì)，適配真空環(huán)境下的電磁環(huán)境，穩(wěn)定輸出高精度位置信號(hào)，傳輸至控制系統(tǒng)，為動(dòng)子的啟停、速度調(diào)節(jié)、精準(zhǔn)定位提供數(shù)據(jù)支撐。
三、應(yīng)用優(yōu)勢(shì)
（一）潔凈環(huán)境保障
磁懸浮系統(tǒng)無傳統(tǒng)機(jī)械傳動(dòng)部件，從源頭上避免粉塵產(chǎn)生，阿童木讀數(shù)頭 MH0 系列采用密封設(shè)計(jì)，不引入額外污染，共同為高端芯片、醫(yī)療部件營(yíng)造真空無塵運(yùn)輸環(huán)境，降低因污染導(dǎo)致的產(chǎn)品報(bào)廢風(fēng)險(xiǎn)。
（二）高精度運(yùn)動(dòng)控制
MH0 系列讀數(shù)頭具備高分辨率，位置檢測(cè)精度達(dá)微米級(jí)，配合磁懸浮多動(dòng)子系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)動(dòng)子在真空運(yùn)輸線的精準(zhǔn)位移控制。在芯片晶圓搬運(yùn)、醫(yī)療試劑精密傳輸?shù)拳h(huán)節(jié)，確保部件放置、轉(zhuǎn)移誤差極小，提升生產(chǎn)良率與醫(yī)療設(shè)備組裝精度。
（三）系統(tǒng)兼容性與穩(wěn)定性
讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)緊湊，適配磁懸浮多動(dòng)子運(yùn)輸線的狹小安裝空間。其耐環(huán)境特性（耐受真空、溫度波動(dòng)等 ），保障長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，與磁懸浮系統(tǒng)協(xié)同，支持多動(dòng)子并行、獨(dú)立作業(yè)，提升運(yùn)輸線整體效率，滿足高端制造與醫(yī)療場(chǎng)景的連續(xù)生產(chǎn)需求。
四、應(yīng)用效果
在高端芯片制造環(huán)節(jié)，該運(yùn)輸線配合阿童木讀數(shù)頭，實(shí)現(xiàn)芯片中間體搬運(yùn)精度 ±2μm，粉塵污染導(dǎo)致的芯片不良率從原傳統(tǒng)方式的 3% 降至 0.5% 以內(nèi)；醫(yī)療搬運(yùn)場(chǎng)景中，試劑、精密組件運(yùn)輸誤差控制在 ±1μm，助力醫(yī)療設(shè)備組裝良率提升至 99% ，驗(yàn)證了阿童木讀數(shù)頭 MH0 系列在磁懸浮多動(dòng)子真空運(yùn)輸線的應(yīng)用價(jià)值，為高端制造與醫(yī)療領(lǐng)域的精密搬運(yùn)提供可靠技術(shù)方案。
